[发明专利]一种基于正支共焦非稳腔腔镜失调监测系统及其监测方法

摘要

一种新颖的正支共焦非稳腔腔镜失调监测方法，特征在于：监测系统由He－Ne光源、非稳腔腔镜、分光镜、聚焦透镜、光束质心探测CCD、光束匹配望远镜、步进电机及其控制器、H－S波前传感器、图像采集卡、自准直仪和数据采集处理计算机组成，其中正支共焦非稳腔由45°反射镜组、耦合输出镜，凸面反射镜和凹面反射镜构成。采用本发明所述腔镜失调监测新方法能非常方便地判断究竟是腔内哪一类光学元件的失调，并准确计算出失调量。并且腔镜失调质心监测软件还具有实时性好、便于实施对腔内光学元件失调量进行准确探测的优点。

主权项

1、基于正支共焦非稳腔腔镜失调监测系统，其特征在于：它由He-Ne光源(1)、非稳腔腔镜(2、3、4、5)、光束匹配系统(6)、H-S波前传感器(7)、分光镜(8)、自准直仪(9)、图像采集和数据处理计算机(10)、聚焦透镜(11)、质心探测CCD(12)、步进电机及其控制器(13、14)组成，其中非稳腔腔镜由45°反射镜组(2)、耦合输出镜(3)、凸面镜(4)、凹面镜(5)构成，He-Ne光源(1)在45°反射镜组(2)之前，45°反射镜组(2)为反射镜模块组，由两块夹角为90°的反射镜1和2构成，45°反射镜组(2)中反射镜1上开有孔，凸面镜(4)位于凹面镜(5)之前并靠近(5)，谐振腔腔长为设计腔长，其中45°反射镜组(2)、耦合输出镜(3)、凸面镜(4)、凹面镜(5)共同组成非稳腔和调腔光输出光路；耦合输出镜(3)位于凸面镜(4)之前并尽量贴近凸面镜(4)，与光轴夹角为45°；光束匹配系统(6)位于耦合输出镜(3)前方，H-S传感器(7)位于光束匹配系统(6)之前；分光镜(8)位于He-Ne光源(1)和反射镜模组(2)之间，质心探测CCD(12)位于聚焦透镜(11)的焦平面上，聚焦透镜(11)位于分光镜(8)和质心探测CCD(12)之间，质心探测CCD(12)探测到的光斑由图像采集和数据处理计算机(10)进行图像采集和分析处理，步进电机及其控制器(13、14)分别对失调后的凸面镜(4)和凹面镜(5)的腔镜进行精确调整。