[发明专利]正支共焦非稳腔腔镜内自动校准装置

摘要

正支共焦非稳腔腔镜内自动校准装置包括：由He－Ne激光器、带有小孔结构的腔内折叠镜、带有小孔的刮刀镜、凸镜、探测激光器输出光束质量的哈特曼波前传感器、主控器和带有步进电机致动器的凹镜组成，本发明结构简单、稳定，加工工艺易实现，通过调节主控镜凹镜，能在激光器谐振腔内部校正高能激光光束倾斜、抖动和离焦误差，相对于现有的激光器腔内自动准直技术，由于抓住了影响光束质量的主要因素，故能简化控制系统的安装和调节，控制算法易于实现。

主权项

1、正支共焦非稳腔腔镜内自动校准装置，其特征在于包括下列部件：He-Ne激光器(5)，输出激光导引光，模拟高能激光在腔内传输情况，它和折叠镜(4)固联在一起；带有小孔(15)结构的腔内折叠镜(4)，其作用是侧向耦合输出，让低能激光校准光束通过；带有小孔(16)的刮刀镜(3)，其作用是接收带有小孔结构的腔内折叠镜(4)的低能激光校准光束，并侧向耦合输出，以用这束低能激光光束来模拟高能激光的传输路线和输出目标对准；凸镜(2)，接至刮刀镜(3)的后面，它和凹镜一起使光束稳定的在谐振腔内振荡、放大；高精度的可探测激光器输出光束质量的哈特曼波前传感器(8)，主要实时探测凹镜相对于凸镜的抖动、倾斜和平移；主控机(9)，接受哈特曼波前传感器(8)探测到的腔镜失调信号，处理后转换成步进电机控制信号，后输出到步进电机控制器驱动步进电机运动；带有步进电机致动器(10)的凹镜(1)，它接受控制信号并驱动凹镜(1)相对于凸镜(2)作倾斜、抖动和平移运动，使凸镜(2)和凹镜(1)保持准直；He-Ne激光器(5)发出的低能激光光束穿过折叠镜(4)的小孔(15)，依次到达刮刀镜(3)、凸镜(2)后再返回刮刀镜(3)，经腔内折叠镜(4)反射后到达凹镜(1)再原路返回，来回振荡，最后从刮刀镜(3)输出，哈特曼波前传感器(8)测量能得到倾斜、抖动和平移的信息经过主控机(9)的数据处理后通过驱动致动器(10)使凹镜(1)相对于凸镜(2)和腔内折叠镜(4)准直。