[发明专利]半导体光电子器件芯片测试用的夹具无效
| 申请号： | 200510086641.4 | 申请日： | 2005-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1952666A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 刘超;袁海庆;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一种用于半导体光电子芯片测试用的夹具，其特征在于，其中包括：一三维微调架，该三维微调架包括三个微调手柄；一基片，该基片为一横向的T字形，该基片横向固定在三维微调架的侧面，在该基片的端部纵向开有小孔；多个套管，该套管插置并固定在基片端部的小孔内；一基座，位于三维微调架的前端、基片的下部。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 光电子 器件 芯片 测试 夹具 | ||
【主权项】：
1、一种用于半导体光电子芯片测试用的夹具，其特征在于，其中包括：一三维微调架，该三维微调架包括三个微调手柄；一基片，该基片为一横向的T字形，该基片横向固定在三维微调架的侧面，在该基片的端部纵向开有小孔；多个套管，该套管插置并固定在基片端部的小孔内；一基座，位于三维微调架的前端、基片的下部。
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