[发明专利]猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统

摘要

猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统，属于基于激光位移传感技术领域。本发明的技术特点是不再将猫眼逆向器作为谐振腔的腔镜，而是作为光线的折返器，将从半外腔氦氖激光增益管的毛细管出射的光线折返到与输出镜平行的一个静止、与系统固结的反射镜或全反射膜上，整个谐振腔结构形成折叠腔结构，构成激光谐振腔的两个腔镜是增益管一端的输出镜和上述的反射镜或全反射膜，这两个腔镜都是静止固定的，不受测杆移动的影响，从而根本解决系统的稳定性问题。系统的测量分辨率随之提高了一倍，为氦氖激光器中心波长632.8nm的1/16，即39.6nm。系统测量范围也得以提高，从而成为一个可长期稳定工作的测位移传感器。

主权项

1.一种猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统，含有一端为输出镜(2)、另一端为增透窗片(3)的半外腔氦氖激光增益管(1)，设置在输出镜一端的偏振分光镜(8)，分别接受该偏振分光镜分出的两束正交偏振光的第一光电探测器(9)和第二光电探测器(10)以及处理两个光电探测器输出信号的电路部分(12)，设置在增透窗片一端的猫眼逆向器(6)和一端与猫眼逆向器连接、另一端与待测物体接触的可动测杆(7)，以及用于固定半外腔氦氖激光增益管、偏振分光镜、两个光电探测器和可动测杆的平板支架(11)；所述的猫眼逆向器是由一个两面镀增透膜的凸透镜和一个镀全反射膜的凹面镜组成，且凸透镜和凹面镜之间的间距可调，其特征在于：在所述半外腔氦氖激光增益管与猫眼逆向器之间设有与输出镜(2)平行的反射镜(5)，该反射镜固定在平板支架上，其反射面正对猫眼逆向器，但与半外腔氦氖激光增益管的毛细管所在直线不相交，保证该反射镜不阻挡从半外腔氦氖激光增益管的毛细管射往猫眼逆向器的光线；所述猫眼逆向器的轴线与半外腔氦氖激光增益管的毛细管轴线错开一距离，使得从半外腔氦氖激光增益管的毛细管射出的光线经过猫眼逆向器折返后入射到反射镜上。