[发明专利]磁控溅射仪衬底固定夹具无效
| 申请号： | 200510086729.6 | 申请日： | 2005-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1955334A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;陈诺夫;尹志岗;杨霏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01L21/687 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及固定夹具技术领域，特别是一种磁控溅射仪衬底固定夹具。用于固定磁控溅射仪所用的衬底。包括：一盖片，该盖片主体为长方形，在其一边有三个方形缺口，两端各有一个通孔；一衬底托，该衬底托为圆形，内部有两个螺丝孔，其孔距与盖片上的通孔孔距一致；衬底置于盖片的缺口之下，并通过螺丝将其固定在盖片与衬底托之间。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 衬底 固定 夹具 | ||
【主权项】：
1、一种固定夹具，用于固定磁控溅射仪所用的衬底，包括：一盖片，该盖片主体为长方形，在其一边有三个方形缺口，两端各有一个通孔；一衬底托，该衬底托为圆形，内部有两个螺丝孔，其孔距与盖片上的通孔孔距一致；衬底置于盖片的缺口之下，并通过螺丝将其固定在盖片与衬底托之间。
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