[发明专利]电晕预电离脉冲气体激光器

摘要

本发明是电晕预电离脉冲气体激光器，涉及激光技术。本发明将一单面印刷电路板紧贴在主放电电极1、2的两侧，沿电极长度方向放置，绝缘裸露面朝向放电区，其敷铜面与电极1相连；再于单面印刷电路板的两侧，增加另一单面印刷电路板，其敷铜面与电极2相连。另一印刷电路板的裸露面与前一印刷电路板的敷铜面紧贴，环氧板与两侧的敷铜面形成板状电容，板状电容与主放电电极并联成峰化电容。将高压脉冲加在主放电电极两端时，电极2边缘区域形成极高的电场，随后，前一印刷电路环氧板裸露面发生电晕放电，产生紫外光，在放电空间产生初始电子浓度。本发明将电晕预电离装置和峰化电容巧妙地结合起来，具有结构简单、紧凑、更高效地产生激光的优点。

主权项

1.一种电晕预电离脉冲气体激光器，包括腔体、主放电电极和放电空间；其特征在于，还包括电晕预电离装置和峰化电容，其中，电晕预电离装置的主放电电极由一对均匀场实心电极组成，主放电电极形成的放电空间的初始电子由表面电晕放电提供，由一单面印刷电路板裸露面产生紫外光；主放电电极两侧各有两单面印刷电路板构成板状电容，板状电容的两敷铜面直接与主放电电极并联形成峰化电容，以减少放电回路电感，获得稳定的快放电，增强预电离和提高激光器稳定性。