[发明专利]一种红外加热元件及衬底加热器型真空腔无效
| 申请号： | 200510087137.6 | 申请日： | 2005-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN1738494A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 迪特尔·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用薄膜有限责任与两合公司 |
| 主分类号： | H05B3/20 | 分类号： | H05B3/20;H05B3/50;H05B3/10 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王昭林;方诗龙 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种红外加热元件(2)和一种衬底加热器型真空腔，特别用于真空涂层设施。该红外加热元件(2)包括由设计为管状金属套(5)作为保护机构围绕的加热源(4)。管状金属套(5)至少提供有一定范围的红外辐射层(6)。真空腔包括衬底(1)和至少一个设计为红外加热元件(2)的加热元件，该衬底(1)和该红外加热元件(2)热分离，使得只有热辐射对加热有贡献。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 加热 元件 衬底 加热器 空腔 | ||
【主权项】：
1.一种在真空腔中加热衬底的红外加热元件(2)，包括一加热源(4)和一保护机构，其特征在于，所述的保护机构为保护所述加热源的一管状金属套(5)并提供至少一定范围的红外辐射层(6)。
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