[发明专利]使用聚焦离子束制造碳纳米管的方法无效
| 申请号： | 200510087547.0 | 申请日： | 2005-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN1807232A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 宋仁庸;裵恩珠;高朱惠;朴玩濬 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;B82B3/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种使用聚焦离子束(FIB)制造碳纳米管的方法。该方法包括：准备基板、用FIB扫描基板、以及在扫描后的基板上生长碳纳米管。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 聚焦 离子束 制造 纳米 方法 | ||
【主权项】：
1.一种使用聚焦离子束(FIB)制造碳纳米管的方法，包括：准备基板；用所述FIB扫描所述基板；及在所述扫描后的基板上生长碳纳米管。
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