[发明专利]光图像计测装置及光图像计测方法

摘要

本发明是有关于一种光图像计测装置及光图像计测方法。该光图像计测装置，可使检测灵敏度提高并有效地求取干涉光的信号强度和相位信息。该光图像计测装置包括输出被周期性强度调制的光束的宽频带光源(2)、将光束转换为直线偏光的偏光板(3)、将光束分割为信号光(S)和参照光(R)，并且使信号光(S)和参照光(R)进行重叠而生成干涉光(L)的半反射镜(6)、将参照光(R)转换为圆偏光的波长板(7)、利用使参照光(R)的频率进行位移的频率位移器(8)及压电元件(9A)而被移动的参照镜(9)、将干涉光(L)的(S)偏光成分(L1)和(P)偏光成分(L2)进行抽出的偏光分光器(11)、分别检测偏光成分(L1，L2)并输出检测信号的(CCD21，22)、根据该检测信号计算干涉光(L)的信号强度及相位的信号处理部(20)；且根据该计算结果而形成被测定物体(O)的图像。

主权项

1、一种光图像计测装置，其特征在于其包括：光束输出装置，使光束周期性地进行强度调制并输出；第1转换装置，将前述光束的偏光特性转换为直线偏光；分割装置，将前述光束分割为经由被测定物体的信号光和经由参照物体的参照光；第2转换装置，将直线偏光的前述信号光或前述参照光的偏光特性进行转换；频率位移装置，使前述信号光的频率和前述参照光的频率，只相对位移与前述光束的前述强度调制的频率大致相等的量；重叠装置，分别具有利用前述第1及第2转换装置被转换的偏光特性，并利用前述频率位移装置使频率进行位移，且使分别经由前述被测定物体和前述参照物体的前述信号光和前述参照光进行重叠而生成第1干涉光；抽出装置，抽出前述生成的第1干涉光的不同的多数个偏光成分；第1检测装置，对前述抽出的前述第1干涉光的各偏光成分进行检测；运算装置，根据前述检测的前述各偏光成分，计算前述第1干涉光的信号强度或相位；其特征在于：根据前述计算的前述第1干涉光的信号强度或相位，形成前述被测定物体的图像。