[发明专利]半导体装置、半导体晶片及其制造方法有效
申请号: | 200510089249.5 | 申请日: | 2005-07-28 |
公开(公告)号: | CN1773727A | 公开(公告)日: | 2006-05-17 |
发明(设计)人: | 杨富量;杨育佳;陈宏玮;曹训志;胡正明 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L27/12;H01L21/336;H01L21/84 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种半导体装置、半导体晶片及其制造方法,具体为一种绝缘层上覆半导体的装置,包含覆于一绝缘层上的一硅主动层,上述硅主动层具有<100>的晶格方向。上述绝缘层是位于具有上述硅主动层上。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 晶片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种半导体装置,其特征在于所述半导体装置包含:一绝缘层;一硅主动区于该绝缘层的第一侧,其中该硅主动区具有第一结晶方向;一基底于该绝缘层的第二侧,其中该基底具有第二结晶方向。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司,未经台湾积体电路制造股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200510089249.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:图案形成方法和图案形成装置
- 下一篇:扭矩转换器和使用该转换器的系统
- 同类专利
- 专利分类