[发明专利]模具式涂布器涂布方法及以此法制的光刻用防护胶膜组件有效
| 申请号： | 200510089495.0 | 申请日： | 2005-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN1736615A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 关原一敏 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的为确立模具式涂布器的模具的维修管理方式，并以低成本得到含极少异物的大型防护胶膜组件。为达成前述目的，本发明提供一种模具式涂布器的涂布方法，其特征为预先令模具前端浸泡于或接触在容器等所储存的涂布液体；使用时借着向上方缓缓的升高的方式，利用涂布液体的表面张力，在模具前端形成无液滴的状态后，向基板上排出涂布液体而进行涂布。于不进行涂布时，优选的情况是：令模具时常浸泡于或接触涂布液体，同时并使通过过滤器的涂布液体由模具前端连续或间歇的排出，且对液中的模具进行超声波清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 模具 式涂布器涂布 方法 以此 法制 光刻 防护 胶膜 组件 | ||
【主权项】：
1.一种模具式涂布器的涂布方法，其特征在于，预先令模具前端浸泡在或接触在容器等所储存的涂布液体，使用时借着向上方缓缓的升高，利用涂布液体的表面张力在模具前端形成无液滴的状态后，向基板上排出涂布液体以进行涂布。
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