[发明专利]电镀头及其操作方法有效
| 申请号： | 200510089620.8 | 申请日： | 2005-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1737207A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | Y·多尔迪;B·马拉欣;J·博伊德;F·C·雷德克 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;H01L21/288;H01L21/445 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张志醒 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种包括具有流体入口和流体出口的室的电镀头。该室构成为含有从流体入口向流体出口的电镀溶液流动。电镀头还包括设置在室内部的阳极。阳极构成为与电源电性连接。电镀头还包括设置在流体出口的多孔电阻材料，以使得电镀溶液的流动需要横跨过多孔电阻材料。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种电镀头，包括：具有流体入口和流体出口的室，该室构成为包含从流体入口向流体出口的电镀溶液流；设置在室内部的阳极，其中该阳极构成为电连接至电源；和设置在流体出口处的多孔电阻材料，电镀溶液的流动需要跨过该多孔电阻材料。
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