[发明专利]与外涂光刻胶一起使用的涂料组合物有效
| 申请号： | 200510089651.3 | 申请日： | 2005-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN1758141A | 公开（公告）日： | 2006-04-12 |
| 发明（设计）人： | S·科利;P·特雷弗纳三世;P·E·法伦;G·B·韦敦 | 申请（专利权）人： | 罗姆及海斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/11;G03C1/492;G03F7/38;G03F7/00;B05D3/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了能够减少从底材返回到外涂光刻胶层的曝光射线的反射和/或可用作表面流动控制或中介填充层的组合物和方法。优选本发明涂料组合物和方法可以提供增强的外涂光刻胶层图案分辨率，并包括使用低活化温度热产酸剂以及多次热处理，加工底涂料组合物层。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
1.一种涂覆的底材，它包括：有机组合物底层，它包含树脂和含有分子量小于100的阳离子组分的离子热产酸剂化合物；和在所述有机组合物层上的光刻胶层。
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