[发明专利]一种刻蚀液浓度的监控方法无效
申请号: | 200510089820.3 | 申请日: | 2005-08-05 |
公开(公告)号: | CN1908793A | 公开(公告)日: | 2007-02-07 |
发明(设计)人: | 陈志行 | 申请(专利权)人: | 尚宏光电有限公司 |
主分类号: | G02F1/1368 | 分类号: | G02F1/1368;H01L21/027 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 任默闻 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种刻蚀液浓度的监控方法,用以监控一持续反应的刻蚀液浓度,其步骤包括:首先在第一时间利用一循环泵抽取一定量的刻蚀液样本,采用滴定法测量所述刻蚀液样本的酸碱值变化量,依据酸碱当量点判断所述刻蚀液在第一时间的消耗量,最后回补所述消耗量的刻蚀液成分使其浓度维持稳定。本发明可以将刻蚀液有效浓度维持在精准的范围内以提高刻蚀品质,以及在不汰换所述刻蚀液的状况下持续作业以提高制备工艺效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 刻蚀 浓度 监控 方法 | ||
【主权项】:
1.一种刻蚀液浓度的监控方法,适用于一持续反应的刻蚀液的监控,其特征在于包括如下步骤:A.在第一时间抽取一定量的刻蚀液样本;B.采用滴定法测量所述刻蚀液样本的酸碱值当量点;C.依据酸碱值当量点的滴定量,计算第一时间的刻蚀液浓度;D.在第二时间抽取一定量的刻蚀液样本;E.采用滴定法测量所述刻蚀液样本的酸碱值当量点;F.依据酸碱值当量点的滴定量,计算第二时间的刻蚀液浓度;G.依据第二时间与及第一时间的浓度差值,补充刻蚀液消耗自由基的成分,使刻蚀液恢复到第一时间的刻蚀能力。
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