[发明专利]一种刻蚀液浓度的监控方法无效

专利信息
申请号: 200510089820.3 申请日: 2005-08-05
公开(公告)号: CN1908793A 公开(公告)日: 2007-02-07
发明(设计)人: 陈志行 申请(专利权)人: 尚宏光电有限公司
主分类号: G02F1/1368 分类号: G02F1/1368;H01L21/027
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 任默闻
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种刻蚀液浓度的监控方法,用以监控一持续反应的刻蚀液浓度,其步骤包括:首先在第一时间利用一循环泵抽取一定量的刻蚀液样本,采用滴定法测量所述刻蚀液样本的酸碱值变化量,依据酸碱当量点判断所述刻蚀液在第一时间的消耗量,最后回补所述消耗量的刻蚀液成分使其浓度维持稳定。本发明可以将刻蚀液有效浓度维持在精准的范围内以提高刻蚀品质,以及在不汰换所述刻蚀液的状况下持续作业以提高制备工艺效率。
搜索关键词: 一种 刻蚀 浓度 监控 方法
【主权项】:
1.一种刻蚀液浓度的监控方法,适用于一持续反应的刻蚀液的监控,其特征在于包括如下步骤:A.在第一时间抽取一定量的刻蚀液样本;B.采用滴定法测量所述刻蚀液样本的酸碱值当量点;C.依据酸碱值当量点的滴定量,计算第一时间的刻蚀液浓度;D.在第二时间抽取一定量的刻蚀液样本;E.采用滴定法测量所述刻蚀液样本的酸碱值当量点;F.依据酸碱值当量点的滴定量,计算第二时间的刻蚀液浓度;G.依据第二时间与及第一时间的浓度差值,补充刻蚀液消耗自由基的成分,使刻蚀液恢复到第一时间的刻蚀能力。
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