[发明专利]隔离片以及晶圆储存盒与隔离片的组合有效
| 申请号： | 200510090271.1 | 申请日： | 2005-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN1733565A | 公开（公告）日： | 2006-02-15 |
| 发明（设计）人： | 黄正中;林孜彦;彭惠萍 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D85/00 | 分类号： | B65D85/00;B65D85/86;B65D85/30;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 台湾新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种隔离片以及晶圆储存盒与隔离片的组合。一隔离片，支撑晶圆储存盒中的晶圆堆叠，包括一实质上平坦的主要区域以及多个突出物于该隔离片的周边区域，该多个突出物支撑晶圆堆叠。本发明所述隔离片以及晶圆储存盒与隔离片的组合，可降低与晶圆的接触面积及避免真空吸附作用力造成的晶圆移出时的困难，再者，可降低储存盒中晶圆在储存与运送过程中所造成的屑片、颗粒污染或造成晶圆破碎及裂痕。 | ||
| 搜索关键词： | 隔离 以及 储存 组合 | ||
【主权项】：
1、一种隔离片，支撑晶圆储存盒中的晶圆堆叠，所述隔离片包括：一实质上平坦的主要区域以及多个突出物于该隔离片的周边区域，该多个突出物支撑晶圆堆叠。
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