[发明专利]一种测定光学镀层或镀层系统的物理特性的方法无效
| 申请号： | 200510090606.X | 申请日： | 2005-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN1811378A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 汉斯·格奥尔格·洛茨;于尔根·施罗德 | 申请（专利权）人： | 应用薄膜有限责任与两合公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G06F19/00;G03F7/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王昭林;张小英 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种通过光谱透射和/或反射测量方法测定光学镀层或镀层系统的物理特性的方法，由此，根据透射和/或反射测量光谱，从已知值中选择或通过试验确定随波长变化而变化的折射率n0和/或消光系数k0的参考值；并且通过折射率和消光系数的与波长无关的变量常数Kn和Kk来描述表征该镀层的变量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测定 光学 镀层 系统 物理 特性 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过光谱透射和/或反射测量手段测定光学镀层或镀层系统的物理特性的方法，其特征在于：对于所述的镀层或镀层系统，根据透射和/或反射测量的光谱，从已知值选择或试验确定依赖波长的折射率n0和/或消光系数k0的参考值，以及分别由与波长无关的变量常数Kn和Kk测定与所述参考值的偏差；该偏差确定了所述镀层的特性，且该偏差由实际折射率n和/或消光系数k显示出。
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