[发明专利]一种考夫曼离子源中的中和阴极灯丝及其方法无效
| 申请号： | 200510090637.5 | 申请日： | 2005-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN1917131A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | 张兴旺;陈诺夫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及离子束技术领域，特别是一种考夫曼离子源中的中和阴极灯丝及其方法。中和阴极灯丝置于离子束外可避免离子束的直接溅射；中和阴极灯丝电源的正极接地，使得整个中和阴极灯丝处于负电位；在离子源外部采用三灯丝切换方式工作，三个灯丝成环状围绕离子束。中和阴极灯丝具有结构简单、连续工作时间长、工作性能稳定和低污染的特点，在低能离子束薄膜材料制备和离子束刻蚀中有广泛的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 考夫曼 离子源 中的 中和 阴极 灯丝 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种考夫曼离子源中的中和阴极灯丝，其特征在于：1)中和阴极灯丝置于离子束外可避免离子束的直接溅射；2)新的中和阴极灯丝供电电源的正极接地，使得整个中和阴极灯丝处于负电位；3)在离子源外部采用三灯丝切换方式工作，三个灯丝成环状围绕离子束。
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