[发明专利]用于测试半导体器件的处理机的传送器有效
申请号: | 200510090692.4 | 申请日: | 2005-08-18 |
公开(公告)号: | CN1787199A | 公开(公告)日: | 2006-06-14 |
发明(设计)人: | 咸哲镐;林祐永;朴龙根;宋镐根 | 申请(专利权)人: | 未来产业株式会社 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 章社杲;宋子良 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及用于测试半导体器件的处理机的传送器,其中每个拾取器头之间的间距可以根据需要调节为任意间距,而不用替换靠模板。该用于测试半导体器件的处理机的传送器包括基座部件;多个可水平移动地被安装在基座部件上用于固定/松开半导体的拾取器头;可移动地安装在基座部件上的靠模板;多个在靠模板中倾斜形成的靠模槽;连接部件,其中连接部件的每个第一侧与每个拾取器头连接并且第二侧可相对移动连接到每个靠模槽,从而将每个拾取器头与每个靠模槽连接;以及驱动单元,用于往复移动靠模板,从而拾取器头可以被改变到基座部件的任意位置。 | ||
搜索关键词: | 用于 测试 半导体器件 处理机 传送 | ||
【主权项】:
1.一种用于测试半导体器件的处理机的传送器,所述传送器可松开地固定多个半导体并将所述半导体传送到预设位置,其包括:基座部件;多个拾取器头,可水平移动地安装在所述基座部件上,用于固定/松开所述半导体;靠模板,可移动地安装在所述基座部件上,多个靠模槽倾斜地形成于其中;连接部件,其中其每个第一端被固定到每个拾取器头,并且其每个第二端被可相对移动地连接到每个靠模槽,从而连接每个拾取器头和每个靠模槽;以及驱动单元,用于往复移动所述靠模板,使所述拾取器头可以变化到第一任意位置和第二任意位置,每个连接部件交替地位于所述靠模板的每个靠模槽的第一任意位置和/或第二任意位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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