[发明专利]图像检查装置、缺陷检测方法及缺陷检测程序

摘要

图像检查装置、缺陷检测方法及缺陷检测程序。当预先准备的明暗度特性与检查用成像设备的明暗度特性不同时，会存在错误判断的问题。所以提供了一种缺陷检测方法。该方法包括：通过以规定行数为单位进行分割，将由M行N列个像素形成的数字图像划分为多个带状区域；对于所述多个带状区域的每一个，针对各列来对所述带状区域中的像素的浓淡值求平均；计算近似线，该近似线在所述多个带状区域的每一个中近似于所述浓淡值的平均值的分布；并且判断是否存在如下连续的d个列，在所述连续的d个列中，从所述近似线得到的所述浓淡值与针对各列的所述浓淡值的平均值之间的差值超出一指定阈值。

主权项

1、一种缺陷检测方法，其由连接至成像装置的图像检查装置来执行，所述成像装置具有光学元件和成像元件，以将通过所述光学元件接收的光转换为电信号，由所述成像装置采集的图像的数据被输入所述图像检查装置中，并且所述图像检查装置基于所述图像数据来检测所述成像装置的缺陷，该缺陷检测方法包括：通过以规定行数为单位进行分割，将由M行N列个像素形成的数字图像划分为多个带状区域，所述M和N是自然数；对于所述多个带状区域的每一个，针对各列来对所述带状区域中的像素的浓淡值求平均；计算近似线，该近似线在所述多个带状区域的每一个中，近似于所述浓淡值的平均值的分布；并且判断是否存在如下的连续的d个列，d是满足1＜d＜N的自然数，在所述的连续的d个列中，从所述近似线得到的所述浓淡值与针对各列的所述浓淡值的平均值之间的差值超出一指定阈值。