[发明专利]有源光罩除尘设备有效
| 申请号： | 200510091960.4 | 申请日： | 2005-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN1737664A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 吴兆明 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有源光罩除尘设备，其包括异物扫描仪及除尘气刷，它们位于光罩的同一表面，以清除该光罩表面上的异物同时检测光罩表面的清洁度。该设备还可安装位于光罩另一表面的另一异物扫描仪与另一除尘气刷，以去除光罩另一表面的异物。当光罩表面安装有保护膜时，此除尘设备亦可利用除尘气刷与异物扫描仪进行保护膜上异物的清除与检查。采用本发明的有源光罩除尘设备可同时除尘和检测光罩表面的异物，不仅可有效提高光罩表面的清洁度，且可节省清洁和检查光罩所需的工时，因而可提高面板的产量。 | ||
| 搜索关键词： | 有源 除尘 设备 | ||
【主权项】：
1.一种适用于清除光罩上的异物的除尘设备，包括：位于所述光罩的第一表面的第一异物扫描仪；及设置于所述第一异物扫描仪一侧的第一除尘气刷，该气刷朝向所述光罩的所述第一表面吹出气体，以清除所述第一表面上的异物，所述第一异物扫描仪跟随所述第一除尘气刷，以检测所述第一表面的清洁度。
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