[发明专利]动态随机存取存储器及其制造方法

摘要

一种动态随机存取存储器，具有一基底、一介电层、一接触窗插塞以及一电容器。介电层配置于基底上，且介电层具有一接触窗开口。接触窗插塞具有一第一部分与一第二部分，其中第一部分位于该接触窗开口中，而第二部分位于第一部分之上，可位于接触窗开口中或者突出于接触窗开口，且第二部分的宽度大于第一部分的宽度。电容器配置于介电层与接触窗插塞上，与接触窗插塞电连接。

主权项

1、一种动态随机存取存储器，包括：一基底；一晶体管，配置于该基底上；一第一介电层，配置于该基底与该晶体管上，其中该第一介电层具有一接触窗开口；一接触窗插塞，该接触窗插塞的至少一部分位于该接触窗开口中，其中该接触窗插塞具有一第一部分与一第二部分，其中该第二部分位于该第一部分之上，且该第二部分的宽度大于该第一部分的宽度；以及一电容器，配置于该第一介电层与该接触窗插塞上，与该接触窗插塞电连接。