[发明专利]遮蔽掩模的附着方法无效
| 申请号： | 200510092340.2 | 申请日： | 2005-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN1800431A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 金振圭;韩尚辰;康熙哲;姜有珍 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种遮蔽掩模的附着方法，在使遮蔽掩模与垂直配置的掩模框邻接，并施加拉力的状态下，通过在掩模框上焊接而进行附着，预先反映向垂直方向的垂下，防止掩模附着后的图案的变形，可预先确认可否校正定位。该遮蔽掩模的附着方法包括：垂直配置掩模框的步骤；将遮蔽掩模附着于上述掩模框上的步骤。另外，将上述遮蔽掩模附着于上述掩模框上的步骤包括：使上述遮蔽掩模邻接上述掩模框上的步骤；在上述遮蔽掩模上施加外力的步骤；在上述掩模框上结合施加了外力的上述遮蔽掩模的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 遮蔽 附着 方法 | ||
【主权项】：
1、一种遮蔽掩模的附着方法，其特征在于，包括：垂直配置遮蔽掩模的步骤；将遮蔽掩模附着在所述掩模框上的步骤。
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