[发明专利]喷墨头用基板及其制造方法和使用该基板的喷墨头有效
申请号: | 200510092607.8 | 申请日: | 2005-08-16 |
公开(公告)号: | CN1736717A | 公开(公告)日: | 2006-02-22 |
发明(设计)人: | 柴田和昭;横山宇;小野贤二;尾崎照夫;伊部智;齐藤一郎;坂井稔康 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/16 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王永刚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在具有与通电相应地产生为了喷出墨水而使用的热能的发热单元的喷墨头用基板上,可以高精度形成发热单元,在可以实现发热单元的小面积化的同时,抑制电极布线的腐蚀及其进行。为此,在基板上配置由耐腐蚀性金属构成的薄膜的第1电极101,在其上重叠用Al形成的第2电极103,进而配置发热电阻层107,用第1电极的间隙形成发热单元。由此可以不会产生大尺寸偏差地形成发热单元。即使在发热单元上或者附近产生保护层的缺陷,因为发热电阻层的材料比Al耐侵蚀强并且第1电极是耐腐蚀性电极,所以可以抑制腐蚀的进行。 | ||
搜索关键词: | 喷墨 头用基板 及其 制造 方法 使用 | ||
【主权项】:
1、一种喷墨头用基板,具有响应通电而产生用于喷出墨水的热能的发热单元,该喷墨头用基板包括:具有用于形成上述发热单元的间隙的第1电极;具有比上述间隙宽的间隙且叠置于上述第1电极上的第2电极;以及包含上述第1电极的间隙和上述第2电极的间隙且作为上述第1电极以及上述第2电极的上层而配置的发热电阻体层,其中,上述第1电极的厚度比上述第2电极的厚度小。
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