[发明专利]用于掩模版的智能自动化管理的方法和系统有效
| 申请号： | 200510092652.3 | 申请日： | 2005-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN1737808A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 理查德·G.·波达;阿尔弗雷德·德格博特斯;布赖恩·T.·顿丹;肯尼思·J.·福特斯;桑加·海格德;罗伯特·J.·米尔恩;萨米尔·T.·史卡尔加;左国钢 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李春晖 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于掩模版的智能自动化管理的方法和系统，具体提供了一种控制制造系统的方法、系统以及实现该方法的程序存储设备，其中，该方法包括：提供要在加工设备上处理的多个工件，其中，所述多个工件位于在所述加工设备之前的处理站；在工件到达加工设备之前，根据与所述多个工件相关的特性对所述加工设备确定辅助设备的分配需求；并在所述工件到达加工设备之前根据所述分配需求向所述加工设备发送辅助设备。根据本发明的一个实施例，所述加工设备包括光刻系统，所述辅助设备包括掩模版，所述多个工具包括半导体衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 模版 智能 自动化 管理 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种控制制造系统的方法，该方法包括：提供至少一个加工设备和至少一组辅助设备；供应要在所述加工设备上加工的多个工件；以及根据与所述加工设备和所述多个工件相关的特性，确定所述辅助设备到达所述加工设备的到达顺序。
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