[发明专利]用于汽相淀积系统的磁锁闩有效
| 申请号： | 200510092826.6 | 申请日： | 2005-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN1737192A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 理查德·I.·塞登;马库斯·K.·帝尔什;杰里米·贺氏 | 申请（专利权）人： | JDS尤尼弗思公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在行星式旋转平台上固定衬底的磁锁闩，所述行星式旋转平台悬挂在汽相淀积系统，如化学汽相淀积(CVD)系统或物理汽相淀积(PVD)系统的真空腔中的涂料源之上。所述磁锁闩包括永磁体，所述永磁体可在锁定位置与解锁位置之间移动，所述永磁体在所述锁定位置将所述锁闩磁化以吸引衬底托架，所述永磁体在所述解锁位置连接在旁路中，从而将所述锁闩消磁以释放所述衬底托架。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 汽相淀积 系统 磁锁闩 | ||
【主权项】：
1.一种用于安装在涂膜系统的处理腔中的类型的行星式衬底支撑件，所述涂膜系统用于对安装在衬底托架上的衬底进行涂覆，所述行星式衬底支撑件包括：可围绕第一轴旋转的主支撑件；多个心轴，所述多个心轴从所述主支撑件伸出并可围绕各自的心轴的轴旋转；和位于每个心轴的末端的磁锁闩，所述磁锁闩包括永磁体和用于接收衬底托架的安装表面；其中每个磁锁闩包括第一部分和第二部分，所述第二部分可相对于所述第一部分在第一位置和第二位置之间移动，所述永磁体在所述第一位置将所述安装表面磁化以吸引衬底托架，所述安装表面在所述第二位置没有磁性。
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