[发明专利]快闪存储器装置及其形成方法

摘要

一种快闪存储器装置及其形成方法，此快闪存储器装置包括了使用最小线宽的选择性微影制程的第一组浮置闸，其中更包括形成于底材的闸极氧化层之上的多个第一浮置闸；具有多个第二浮置闸的第二组浮置闸，其中这些第一与第二浮置闸连续沉积，即每个第二浮置闸沉积于每一对第一浮置闸之间；多个间隙壁，每个间隙壁沉积于每一对相邻的第一与第二浮置闸之间；以及多个连结这些浮置闸的控制闸，其中这些间隙壁及/或第二浮置闸的宽度小于最小线宽。

主权项

1、一种快闪存储器装置，其特征在于其包括：一第一组浮置闸，包括形成于一底材之上的闸极氧化层之上的一复数个第一浮置闸，该第一组浮置闸使用具有一最小线宽的一选择性微影制程；一第二组浮置闸，包括一复数个第二浮置闸，其中该等第一浮置闸与该等第二浮置闸连续沉积，每一该等第二浮置闸沉积于每一该等第一浮置闸之间；一复数个间隙壁，每一该等间隙壁沉积于各相邻的该第一浮置闸与该第二浮置闸之间；以及一复数个控制闸，连结该等浮置闸，其中该等间隙壁及/或该等第二浮置闸具有较该最小线宽更小的宽度。