[发明专利]掩模有效
申请号: | 200510093170.X | 申请日: | 2003-04-16 |
公开(公告)号: | CN1734337A | 公开(公告)日: | 2006-02-15 |
发明(设计)人: | 金雄权;赵兴烈 | 申请(专利权)人: | LG.飞利浦LCD有限公司 |
主分类号: | G02F1/1368 | 分类号: | G02F1/1368;G03F7/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种掩模,包括:透明掩模基板;在透明掩模基板上形成的用于截断入射光的屏蔽部分;和在掩模基板上形成的至少两个部分曝光部分,每个具有不同的光透射率。 | ||
搜索关键词: | 掩模 | ||
【主权项】:
1.一种掩模,包括:透明掩模基板;在透明掩模基板上形成的用于截断入射光的屏蔽部分;和在掩模基板上形成的至少两个部分曝光部分,每个具有不同的光透射率。
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