[发明专利]喷孔片的制造方法有效
| 申请号： | 200510093179.0 | 申请日： | 2005-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN1916227A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | 王俊恒;赵永清;刘安鸿 | 申请（专利权）人： | 南茂科技股份有限公司;百慕达南茂科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/34;B05B1/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种喷孔片的制造方法，首先，提供一晶圆，再形成一可剥离层于该晶圆，接着，形成一光阻层于该可剥离层，进行一曝光显影步骤，使该光阻层形成为复数个栓柱，再以溅镀方式在该显露的可剥离层与该些栓柱上形成一含钛金属层，最后，移除该些栓柱，使得该含钛金属层具有复数个喷孔片开孔，所制作出的喷孔片具有性质安定且其孔径可准确且一致地微小化。另本发明利用涂布一可剥离层于一晶圆的一表面，并在该剥离层上制造一喷孔片，在该喷孔片制造完成后，可去除该可剥离层，而有利于喷孔片由晶圆剥离。此外本发明的喷孔片具有最佳的生物相容性，其在与人体接触后不容易产生过敏或排斥的现象，从而更加适于实用。 | ||
| 搜索关键词： | 喷孔片 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种喷孔片的制造方法，该喷孔片具有一第一厚度，其特征在于该制造方法包括以下步骤：提供一晶圆，其具有一表面；形成一可剥离层于该晶圆的该表面；形成一光阻层于该可剥离层，该光阻层具有一第二厚度，该第二厚度大于该第一厚度；曝光显影该光阻层，以使该光阻层形成为复数个栓柱；以溅镀方式形成一含钛金属层于该显露的可剥离层与该些栓柱上；以及移除该些栓柱，以使该含钛金属层具有复数个喷孔片开孔。
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