[发明专利]阵列式微型电场传感器无效
| 申请号： | 200510093370.5 | 申请日： | 2005-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN1920584A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 陈绍凤;陈贤祥;白强;彭春荣;夏善红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R29/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种阵列式微型电场传感器，由复数个微型电场传感器组成，每个微型电场传感器，包括屏蔽电极、正感应电极、负感应电极和驱动单元，其特征在于，还包括I－V转换单元与求和放大单元，其中，复数个微型电场传感器，各自在输出端接一I－V转换单元后，相互并联，每个I－V转换单元的输出端都与求和放大单元的输入端电连接，求和放大单元的输出端接后续处理电路；传感器激励信号与每个微型电场传感器的驱动单元电连接。本发明相对于以往的单个微型电场传感器，阵列式微型电场传感器具有输出信号大，检测灵敏度高，可靠性好，成品率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 式微 电场 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种阵列式微型电场传感器，由复数个微型电场传感器组成，每个微型电场传感器，包括屏蔽电极、正感应电极、负感应电极和驱动单元，其特征在于，还包括I-V转换单元与求和放大单元，其中，复数个微型电场传感器，各自在输出端接一I-V转换单元后，相互并联，每个I-V转换单元的输出端都与求和放大单元的输入端电连接，求和放大单元的输出端接后续处理电路；传感器激励信号与每个微型电场传感器的驱动单元电连接。
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