[发明专利]一种能够提高电荷保存能力的浮动栅极无效
申请号: | 200510093451.5 | 申请日: | 2005-08-30 |
公开(公告)号: | CN1744330A | 公开(公告)日: | 2006-03-08 |
发明(设计)人: | 刘继文;江国庆;曾鸿辉;朱文定 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/788 | 分类号: | H01L29/788 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人: | 高翔 |
地址: | 台湾省新竹市新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体元件,包含在基板中形成源极与漏极。在基板上的源极与漏极之间形成穿隧式介电质。浮动栅极位于该穿隧式介电质上,且此浮动栅极的能隙低于硅的能隙。 | ||
搜索关键词: | 一种 能够 提高 电荷 保存 能力 浮动 栅极 | ||
【主权项】:
1.一种半导体元件,其特征是包含:源极与漏极,形成在基板中;穿隧式介电质,形成在该基板上,且介于该源极与该漏极之间;以及浮动栅极,位于该穿隧式介电质上,该浮动栅极的能隙低于硅的能隙。
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