[发明专利]在微环境晶片传送盒和设备零件之间的真空接口

摘要

在本发明的装置中，由于通过插入的接口周边衬垫(16)提供密封以防漏的方式将传送盒(1)与处理设备(9)的制品通过口(11)连接。传送盒门(4)可被选择性地固定在接口门(12)上，从而它们可以在来自门致动器部件(14)的驱动下在横向行程以及随后的横向行程作为一个整体一起运动。传送盒(1)由保持部件(15)保持。可以通过泵(22)和管道(23)抽吸围绕这两个门的周边体积(21)。可以通过确保良好密封的锁紧部件(20)将传送盒门(4)锁定在传送盒(1)上，同时传送盒(1)与处理设备(9)分开。这确保了传送盒(1)的良好密封，并且能够在真空下打开这些门(4，12)，而不会污染内部大气。

主权项

1.一种用于传送例如晶片或掩模的扁平制品(7)进出设备零件(9)的装置，该装置包括：传送盒(1)，每个都具有防漏周壁(2)和传送盒门前部密封部件(5)，所述周壁具有可以由传送盒门(4)关闭的入口/出口(3)；位于通向设备(9)的入口处的接口(17)，其设有可以由具有接口门前密封部件(13)的接口门(12)关闭的制品通过口(11)；周边密封部件(16)，用于使位于围绕着制品通过口(11)和入口/出口(3)的传送盒(1)的前表面和接口(17)的前表面之间的连接区域与外部大气隔离；门致动器部件(14)，其被安装在接口(17)中以使传送盒门(4)和接口门(12)在关闭位置和朝着接口(17)内部偏移的打开位置之间运动；以及传送盒门锁紧部件(20)，其设在传送盒(1)中，并可以选择性地由安装在接口(17)中的致动器部件致动，以将处于关闭入口/出口(3)的关闭位置处的传送盒门(4)锁定和解锁；该设备其特征在于，它用来在较低的大气压下输送所述制品，并且其还包括：传送盒(1)，其被构成为用来在其内部腔室(6)中处于真空的情况下承受外部大气压；推进器部件(14，15，12f)，其适于在接口(17)中朝着传送盒(1)的内部在传送盒门(4)上施加轴向推力，以便压缩传送盒门前部密封部件(5)；以及传送盒门前部密封部件(5)，其可弹性压缩并且被布置成由传送盒门保持弹性压缩，所述传送盒门自身在传送盒门(4)处于锁紧关闭位置中时由传送盒门锁紧部件(20)保持。