[发明专利]电弧的检测与抑制电路和方法有效

专利信息
申请号: 200510093967.X 申请日: 2005-08-30
公开(公告)号: CN1743859A 公开(公告)日: 2006-03-08
发明(设计)人: 苏海勒·安瓦尔;瑞米哥尔·马纳奇尔;朴钲义;任东吉;崔寿永 申请(专利权)人: 应用材料股份有限公司
主分类号: G01R31/00 分类号: G01R31/00;H05H1/00;H01J37/32
代理公司: 上海新高专利商标代理有限公司 代理人: 楼仙英
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 用以检测或抑制在连接至电源负载过程中产生的电阻抗中,电弧或其它异常变化的方法及设备。较佳地,该负载为一等离子体室,用以制造例如半导体及平面显示器的电子组件。电弧通过监视一个或多个感应器加以检出。每一感应器对电源至等离子体过程中所供给至电源特征作出反应,或者,被耦合至等离子体室,以对室内的电磁状态作出反应。通过降低简短功率输出时间,而抑制电弧。然后,电源增加其功率输出,较佳至其原始值。若再发生电弧,则电源重复降低然后回复功率输出这一步骤。
搜索关键词: 电弧 检测 抑制 电路 方法
【主权项】:
1.一种因应一个或多个感应器而检测在电负载中异常变化的电路,其中有一电源供给电力给该电负载,其特征是,其中每一感应器产生一对该电力或对该负载的电磁状态有反应的感应信号,该电路包含:一感应信号接收电路,用以接收每一感应信号及产生一或多个感应器导出信号,使得每一感应器导出信号的值为该一或多个感应信号的函数;一比较电路,用以接收该感应器导出信号并产生一对应比较结果给每一感应器导出信号,其中每一比较结果都具有一个值,其可以为真或假,在所述比较电路中,该比较器依据是否该对应感应器导出信号大于或少于有关该感应器导出信号的临限值,而决定每一比较结果的值;一警告电路,当任一比较结果为正时,该警告电路发出警报,以指明在电负载中的异常变化。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司,未经应用材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200510093967.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top