[发明专利]洁净室的空气调节、净化系统流型无效

专利信息
申请号: 200510094009.4 申请日: 2005-08-22
公开(公告)号: CN1731032A 公开(公告)日: 2006-02-08
发明(设计)人: 李曙光;邹宗骐;顾振建;周伟民 申请(专利权)人: 无锡华润微电子有限公司
主分类号: F24F3/16 分类号: F24F3/16
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所 代理人: 曹祖良
地址: 214061*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 洁净室的空气调节、净化系统流型,涉及空气调节系统,具体地说是一种专用于洁净室的空气调节与净化系统。按照本发明所提供的设计方案,在洁净室与其下面的下夹层间设置带孔的活动地板隔开,洁净室的上面为静压箱层,在洁净室与静压箱层间即洁净室的顶部布置装有高效过滤器。洁净室的两侧为回风夹道,其特征是:在洁净室上面的静压箱层内安装若干台自循环风机,每台自循环风机依次设有中效过滤段、表冷段、风机段及出风段。出风段利用风管将处理后的风分配给多个高效送风口,然后,经过高效过滤器进入洁净室。每个高效送风口由高效过滤器及扣置在其上方的外壳组成。在外壳上设置接风口,以便连接风管。在外壳内设置均流板,以便送风均匀地通过高效过滤器进入洁净室。
搜索关键词: 洁净室 空气调节 净化系统
【主权项】:
1、洁净室的空气调节、净化系统流型,在洁净室与其下面的下夹层间利用带孔的活动地板隔开,洁净室的上面为静压箱层,在洁净室与静压箱层间布置高效过滤器,洁净室的两侧为回风夹道,新风由新风空调机组送入回风夹道与回风混合后进入静压箱层,在静压箱层内的自循环风机的作用下,经过高效过滤器进入洁净室内,在洁净室内形成由上而下的垂直层流,再穿过活动地板上的孔进入下夹层内,然后再从下夹层作为回风进入两侧的回风夹道内,与新进入的新风混合后再进入静压箱层内,循环往复,其特征是:在洁净室上面的静压箱层内安装若干台自循环风机,每台自循环风机依次设有中效过滤段、表冷段、风机段及出风段,其中,中效过滤段用于对循环风进行初步净化处理,表冷段用于调节循环风的温度,风机段用于对循环风进行增压,出风段利用管道将处理后的风分配给多个高效送风口,然后,经过高效过滤器进入洁净室。
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