[发明专利]连续批量制备金刚石膜的制备系统

摘要

本发明针对目前的CVD金刚石制备时效率低、成本高的问题，设计了一种连续批量制备金刚石膜的制备系统，其特征是在壳体(26)中、衬底工作台(1)的周围安装有衬底仓库(8)，机械手(3)与伸缩杆(27)一端相连，伸缩杆(27)中安装有拉杆(28)，拉杆(28)的一端与机械手(3)的执行机构(301)相螺接，另一端安装有手轮(17)；金属软管(11)的一端与锥形孔(29)周围的壳体(26)密封相连，另一端与伸缩杆(27)密封相连；在壳体(26)上开有透明密闭观察窗(30)。保证了CVD金刚石膜的连续沉积和碳化后的灯丝连续使用，降低了灯丝的消耗，减少了重新安装灯丝、抽真空、碳化灯丝、真空室充气等时间，提高了金刚石膜的制备效率，降低了CVD金刚石膜的制造成本。

主权项

1、一种连续批量制备金刚石膜的制备系统，它主要包括一个真空密闭的壳体(26)和位于壳体(26)中的安置沉积金刚石膜衬底(2)的衬底工作台(1)，其特征是在壳体(26)中、衬底工作台(1)的周围安装有衬底仓库(8)，机械手(3)与伸缩杆(27)伸入壳体(26)中的一端相连，伸缩杆(27)中安装有拉杆(28)，拉杆(28)位于壳体(26)中的一端伸出伸缩杆(27)与机械手(3)的执行机构(301)相螺接，拉杆(28)位于壳体(26)外的另一端也伸出伸缩杆(27)外，其上安装有手轮(17)；壳体(26)上设有穿装伸缩杆(27)的锥形孔(29)，伸缩杆(27)位于壳体(26)外的一端上安装有金属软管(11)，金属软管(11)的一端与锥形孔(29)周围的壳体(26)密封相连，另一端与伸缩杆(27)密封相连；在与锥形孔(29)相对位置处的壳体(26)上开有密闭透明观察窗(30)。