[发明专利]单晶硅切方机构无效
申请号: | 200510094904.6 | 申请日: | 2005-10-20 |
公开(公告)号: | CN1951658A | 公开(公告)日: | 2007-04-25 |
发明(设计)人: | 冯金生;蔡平 | 申请(专利权)人: | 冯金生 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D1/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213215*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种单晶硅切方机构,机构的床身上固联一支架,支架上固联有直线导轨,直线导轨上设置有工作台,工作台的上端内侧设置有工作台驱动装置,工作台驱动装置可以驱动工作台沿导轨上下运动;工作台上端外侧设置有两台电机,电机通过皮带带动安装在工作台上动力头的主轴转动;主轴的前端设置有锯片夹头,锯片夹头上分别夹持有锯片,两锯片间的中心线与单晶硅中心线重合;单晶硅夹持在单晶硅夹具上;单晶硅夹具沿锯片间中心线安装在单晶硅夹具体上,单晶硅夹具体安装在床身上,单晶硅夹具体可沿锯片中心线运动。转动锯片,同时,单晶硅夹具带动单晶硅棒料沿中心线运动,从而切割单晶硅棒料,切割后的单晶硅成对称矩形。锯片为盘锯片,锯片的齿间设置有合金粉末。动力头为机械动力头。本发明结构简单,是当前是理想的单晶硅切方机构之一。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅 机构 | ||
【主权项】:
1.一种单晶硅切方机构由床身等组成,其特征在于床身上固联一支架,支架上固联有直线导轨,直线导轨上设置有工作台,工作台的上端内侧设置有工作台驱动装置,工作台驱动装置可以驱动工作台沿导轨上下运动;工作台上端外侧设置有两台电机,电机通过皮带带动安装在工作台上动力头的主轴转动;主轴的前端设置有锯片夹头,锯片夹头上分别夹持有锯片,两锯片间的中心线与单晶硅夹具中心线重合;单晶硅夹持在单晶硅夹具上;单晶硅夹具沿锯片间中心线安装在单晶硅夹具体上,单晶硅夹具体安装在床身上,单晶硅夹具体可沿锯片中心线运动。
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