[发明专利]微波诱导掺杂物氧化制备氧化锌纳米晶体的方法和装置无效
| 申请号： | 200510095064.5 | 申请日： | 2005-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1785819A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 鲁金忠;张永康;周骏;孔德军;杨超君;葛涛;袁鹏平 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02;B82B3/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 212013江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及氧化锌纳米晶体的制备方法和装置，其提出的装置包括O2流量计、Ar流量计、反应炉、加热炉以及设置在其内部的金属锌粉、反应舱、小孔、微波、K9玻璃窗、反应炉、真空泵、基座、基底、掺杂物金属板和工作台。本发明利用微波的热效应将掺杂物加热到汽化温度以上，产生高温等离子体，该等离子体定向局部膨胀与反应炉中的氧气以及沿Ar气流移动的金属锌蒸汽发生反应，根据微波的作用时间不同以及掺杂物金属性质决定，生成多种特定形貌和性质完全一致的纳米线、纳米塔、纳米颗粒等氧化锌纳米晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 诱导 掺杂 氧化 制备 氧化锌 纳米 晶体 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种采用微波诱导掺杂物氧化制备氧化锌纳米晶体的方法，其特征在于利用微波的热效应快速达到钨、钴、锰、铝、铒、铟金属掺杂物汽化温度以上，使这些金属掺杂物汽化，形成等离子体，作为生成ZnO纳米晶体的掺杂物，与随着氩气流一起的锌蒸汽和氧气流发生发应，在反应炉的左端放置的基底沉积生成形状和性质完全一致的ZnO纳米晶体，其中控制氧气和氩气流量速度分别为10～20sccm和20～30sccm，且保持炉内2～4Torr的气压。
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