[发明专利]场致电离纳米气体传感器及制作方法

摘要

本发明涉及一种场致电离纳米气体传感器及制作方法。传感器包括场致电离纳米尖端、金属针，底座上有多根管脚，金属针穿过底座中间的小孔固定在场致电离纳米尖端的下方，金属网罩在场致电离纳米尖端上方，用钢箍将其固定在底座上。所述的场致电离纳米气体传感器的制作方法中，每根金属针都与场致电离纳米尖端构成场致电离气体传感器，多根金属针即为场致电离气体传感器阵列。其中每个场致电离纳米尖端与金属针作为两电极连接在电路中，用螺旋测微器调节金属针与场致电离纳米尖端之间的距离，同时采用一维纳米材料作为传感器的电离尖端，提高了场致电离纳米尖端的电离能力，降低了气体传感器的击穿电压，提高了气体传感器的稳定性。

主权项

1、一种场致电离纳米气体传感器，其特征在于：穿过底座(3)的金属针(4)与底座(3)上置有的多只管脚且罩有金属网(2)的场致电离纳米尖端(1)相连接；1.1、所说场致电离纳米尖端(1)由基底和一维纳米材料粘接而成，一维纳米材料尖端向下，背面用金浆与基底材料粘接在一起，同时采用一维纳米材料阵列作为场致电离纳米尖端(1)，金属网(2)罩在场致电离纳米尖端(1)的上方，用钢箍将其固定在底座(3)上；1.2、所说底座(3)呈圆盘形由绝缘材料制成，中间比边缘厚，在底座(3)的下方中心置有带小孔的凹槽；1.3、金属针(4)的针头穿过凹槽中间的小孔固定在场致电离纳米尖端(1)的下方，其距离根据需要调节，金属针(4)通过尾部的圆头固定连接在螺旋测微器(8)的螺杆上；1.4、所说管脚为穿过底座(3)由金属材料制成的圆柱体短管脚(5)和长管脚(6)组成，且与底座(3)连接成一体，底座(3)上的长管脚(6)高度相同，用于场致电离纳米尖端(1)基底的连接固定和电极引出，底座(3)上的短管脚(5)高度相同，作为金属针(4)的引出电极。