[发明专利]一种等离子显示屏障壁及其制作方法无效
申请号: | 200510096146.1 | 申请日: | 2005-10-13 |
公开(公告)号: | CN1750214A | 公开(公告)日: | 2006-03-22 |
发明(设计)人: | 鲁开诚 | 申请(专利权)人: | 彩虹集团电子股份有限公司 |
主分类号: | H01J9/02 | 分类号: | H01J9/02;H01J9/24;H01J17/04;H01J17/16 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 71202*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种等离子显示屏障壁及其制作方法,首先在基板上用丝网印刷法或涂敷法形成一个所需厚度的障壁材料层;然后通过光刻法在障壁材料层上形成条形或井字形障壁掩膜,在每一条纵向障壁掩膜的末端至少设置一个与纵向障壁掩膜宽度相等的虚设障壁和虚设障壁掩膜,该虚设障壁掩膜与纵向障壁掩膜的间隙小于相邻的两纵向障壁掩膜或横向障壁掩膜的间隙;最后通过喷砂法将砂粒喷射在障壁材料层4和虚设障壁掩膜上,从而形成障壁。由于虚设障壁掩膜周围的障壁材料层与障壁掩膜周围的障壁层同时被喷砂法切开,通过喷砂法形成的虚设障壁实际阻止了被基板回弹的砂粒到达障壁末端,使得障壁末端侧面被喷掉的部分减少,阻止了被过量喷蚀而形成弯曲的凹面。 | ||
搜索关键词: | 一种 等离子 显示 屏障 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1、一种等离子显示屏障壁的制作方法,首先在基板[5]上用丝网印刷法或涂敷法形成一个所需厚度的障壁材料层[4];然后通过光刻法在障壁材料层[4]上形成条形或井字形障壁掩膜,每一个障壁掩膜都对应一个障壁;其特征在于:再在每一条纵向障壁掩膜[2]的末端至少设置一个与纵向障壁掩膜[2]宽度相等的虚设障壁和虚设障壁掩膜[1],该虚设障壁掩膜[1]的长度小于2mm且虚设障壁掩膜[1]与纵向障壁掩膜[2]的间隙小于相邻的两纵向障壁掩膜[2]或横向障壁掩膜[3]的间隙;最后通过喷砂法将砂粒喷射在障壁材料层[4]和虚设障壁掩膜[1]上,从而形成障壁。
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