[发明专利]有机物蒸镀装置

摘要

一种有机物蒸镀装置，以将衬底大致垂直竖起的状态蒸镀有机物，形成有机薄膜，可适用于大型衬底，且可形成均匀厚度的有机薄膜。本发明的有机物蒸镀装置具有：腔，其构成壳体并且使衬底维持在相对于地面成70°～110°的角度；有机物存储部，其由接收向上述衬底上蒸镀的有机物的至少一个有机物存储位置构成；有机物喷嘴部，其喷射向上述衬底上蒸镀的有机物；连接线路，其将上述有机物喷嘴部和有机物存储部连接；运送装置，其可使上述有机物存储部、有机物喷嘴部及连接线中的至少上述有机物喷嘴沿垂直方向移动。

主权项

1、一种有机物蒸镀装置，其特征在于，具有：构成壳体的腔，其使衬底相对于地面维持70°～110°的角度；有机物蒸镀源，其由有机物存储部、有机物引导路、加热器、内部热反射板、外部冷却板以及有机物喷嘴构成，用于在所述衬底上蒸镀有机物而形成有机薄膜；有机物蒸镀源运送装置，其使所述有机物蒸镀源沿垂直方向移动。