[发明专利]具有微纹的磁性读/写磁头及其制造方法有效
| 申请号： | 200510096994.2 | 申请日： | 2005-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN1925001A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 上田博国;马洪涛;方宏新;乔晓峰;乔亨;朱勇 | 申请（专利权）人： | 新科实业有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/187 | 分类号： | G11B5/187;G11B5/60;G11B21/21 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 香港新界沙田香港*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 一种在磁性读/写磁头的空气支承面(ABS)上形成微纹的方法，包括下列步骤：(a)将复数磁头阵列排列在托盘中，每个磁头包括一个朝上的极尖(pole tip)；(b)把所述托盘装入处理室中，并将所述处理室抽成具有预定压力的真空；(c)将含氧处理气体导入所述处理室中；(d)将所述磁头暴露于所述处理气体中的蚀刻手段(etchingmeans)中并对其表面进行蚀刻而在其上形成明显的两阶结构。本发明也揭露了通过上述方法形成的磁性读/写磁头的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 磁性 磁头 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在磁性读/写磁头的空气支承面(ABS)上形成微纹的方法，其特征在于包括下列步骤：(a)将复数磁头阵列排列在托盘中，每个磁头包括一个朝上的极尖(pole tip)；(b)把所述托盘装入处理室中，并将所述处理室抽成具有预定压力的真空；(c)将含氧处理气体导入所述处理室中；(d)将所述磁头暴露于所述处理气体中的蚀刻手段(etchingmeans)中并对其表面进行蚀刻而在其上形成明显的两阶结构。
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