[发明专利]具有衍射透镜的图像传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200510097485.1 | 申请日： | 2005-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1822378A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | 郑善旭 | 申请（专利权）人： | 东部亚南半导体株式会社 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146;H01L21/82;H01L31/0232;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种包括衍射透镜的图像传感器，其简化了制造工艺，并使光损失最小化。该图像传感器包括衍射透镜，作为滤色器部分与光电二极管之间的内部透镜，用于补偿对接收到的光的灵敏度。一种用于制造图像传感器的方法，其包括以下步骤：形成衍射透镜，作为滤色器部分与光电二极管之间的内部透镜，用于补偿对接收到的光的灵敏度。所述衍射透镜的形成包括以下步骤：形成平坦化层，其设置于透射在光电二极管处接收的光的光透射层之上，用于在其之上形成层；用光刻胶涂覆平坦化层，并利用光刻胶形成衍射图样；以及蚀刻用于形成衍射透镜的衍射图样。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 衍射 透镜 图像传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图像传感器，包括：衍射透镜，作为滤色器部分与光电二极管之间的内部透镜，用于补偿对接收到的光的灵敏度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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