[发明专利]薄膜晶体管阵列板

摘要

本发明公开了一种改进的薄膜晶体管阵列板。在一个实施例中，阵列板包括多条栅线、数据线和多个连接到栅线和数据线的开关元件。层间绝缘层形成于栅线和数据线之间。还提供了覆盖栅线、数据线和开关元件的钝化层，其具有多个暴露所述数据线的部分的第一接触孔，其中，开关元件和像素电极通过第一接触孔连接。多个辅助接触形成于钝化层上且通过钝化层中的多个第二接触孔连接到数据线。多条辅助线通过层间绝缘层中的多个第三接触孔连接到数据线。

主权项

1.一种薄膜晶体管阵列板，包括：多条栅线；多条数据线，与所述栅线交叉；多个开关元件，连接到所述栅线和数据线；多个像素电极，连接到所述开关元件；层间绝缘层，形成于所述栅线和数据线之间；钝化层，覆盖所述栅线、数据线和开关元件，所述钝化层具有多个暴露所述数据线的部分的第一接触孔，其中，所述开关元件和像素电极通过所述第一接触孔连接；多个辅助接触，形成于所述钝化层上并通过所述钝化层中的多个第二接触孔连接到所述数据线；以及多条辅助线，通过所述层间绝缘层中的多个第三接触孔连接到所述数据线，其中，所述第三接触孔不重叠所述第二接触孔且完全被所述钝化层覆盖。