[发明专利]蒸发源组件及使用该组件的蒸镀装置有效
| 申请号： | 200510098036.9 | 申请日： | 2005-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1831185A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 安宰弘;李星昊;赵源锡 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种蒸发源组件及使用该蒸发源组件的蒸镀装置。构成蒸发源组件的外部壳体具有设有导引部且所述导引部的延长线朝向相同位置的遮蔽件(shield)，以规定的角度使构成所述蒸发源组件的蒸发源所具有的喷咀部的通孔倾斜，由此，通过导引从所述各个蒸发源排出的蒸镀物质，使其蒸镀在被蒸镀基板的同一区域，从而形成具有均匀粗糙度且具有均匀厚度的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 组件 使用 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源组件，该组件包括：由至少一部分开口的至少两个以上的单元划分开的外部壳体；位于上述各个单元内的各个蒸发源，该组件特征在于，还包括位于上述各个单元的开口部的两侧的、与上述外部壳体相连并具有导引部的遮蔽件，上述导引部的延长线朝向同一地方。
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