[发明专利]X－Y－θ三自由度微动平台无效
| 申请号： | 200510098315.5 | 申请日： | 2005-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN1921026A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 牛怀新;欧钟 | 申请（专利权）人： | 北京慧摩森电子系统技术有限公司 |
| 主分类号： | G12B9/10 | 分类号： | G12B9/10;G12B5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083北京市北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种高精度三自由度运动平台，X，Y和θ，运动行程小，精度高。运动行程X，Y小于3mm，θ角度小于5°，分辨率高达20纳米。该平台以二层结构实现三自由度运动为特征，使用弹性支撑直线电机驱动，四个光栅传感器反馈运动信号，侍服闭环运动控制系统。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 微动 平台 | ||
【主权项】：
1.一种待服运动平台，有二级机械结构实现三自由度运动和控制，使用弹性支撑，三个直线电机驱动，四个光栅传感器反馈信号并通过计算控制三轴联动。
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