[发明专利]薄膜晶体管阵列基板、其静电放电保护元件及其制造方法

摘要

一种薄膜晶体管阵列基板、其静电放电保护元件及其制造方法，此薄膜晶体管阵列基板包含有多条扫描配线、多条数据配线、分别设置于扫描配线与数据配线一侧之第一短路杆与第二短路杆，每个静电放电保护元件包括有开关元件及与其并联之电阻线，当薄膜晶体管阵列基板上所累积之静电荷过多时，可经由此开关元件而传导至第一短路杆或第二短路杆中，此电阻线可防止施加于其中一条扫描配线或数据配线上之信号被传导至其它扫描配线或数据配线，以探测出损坏之像素。

主权项

1.一种薄膜晶体管阵列基板，其特征是包括：基板，具有显示区与周边线路区；多条扫描配线与多条数据配线，设置于该显示区内，以于该显示区内定义出多个像素区；多个像素结构，设置于上述这些像素区内，以通过上述这些扫描配线与上述这些数据配线进行驱动，其中各该像素结构包括：顶栅极型薄膜晶体管，电连接于上述这些扫描配线中的一条与上述这些数据配线中的一条；像素电极，设置于该顶栅极型薄膜晶体管上方，并电连接至该顶栅极型薄膜晶体管；第一短路杆，设置于该外围线路区内；第二短路杆，设置于该外围线路区内；多个第一岛状结构，设置于该基板上，并位于上述这些扫描配线与该第一短路杆之间；多个第二岛状结构，设置于该基板上，并位于上述这些数据配线与该第二短路杆之间；栅绝缘层，设置于该基板上，并覆盖上述这些第一岛状结构、上述这些第二岛状结构与上述这些顶栅极型薄膜晶体管之半导体层；层间介电层，设置于该栅绝缘层上，并覆盖上述这些扫描配线、该第一短路杆与上述这些顶栅极型薄膜晶体管之栅极，其中上述这些扫描配线、上述这些第一岛状结构与该第一短路杆上方之该栅绝缘层与该层间介电层内具有多个第一接触窗，且上述这些第二岛状结构上方之该栅绝缘层与该层间介电层内具有多个第二接触窗，上述这些数据配线与该第二短路杆设置于该层间介电层上，并延伸至上述这些第二岛状结构上方，以分别通过上述这些第二接触窗电连接至上述这些第二岛状结构；多条第一连接线，设置于该层间介电层上，并分别通过上述这些第一接触窗连接于上述这些第一岛状结构与上述这些扫描配线之间；多条第二连接线，设置于该层间介电层上，并分别通过上述这些第一接触窗连接于上述这些第一岛状结构与该第一短路杆之间；保护层，覆盖上述这些数据配线、该第二短路杆与上述这些顶栅极型薄膜晶体管之源极/漏极，其中上述这些第一连接线与上述这些第二连接线上方之该保护层内具有多个第三接触窗，而上述这些数据配线与该第二短路杆上方之该保护层内具有多个第四接触窗；多条第一电阻线，设置于该保护层上，并分别通过上述这些第三接触窗连接于上述这些第一连接线中的一条与上述这些第二连接线中的一条之间；以及多条第二电阻线，设置于该保护层上，并分别通过上述这些第四接触窗连接于上述这些数据配线中的一条与该第二短路杆之间。