[发明专利]一种光阻显影液

摘要

一种光阻显影液含有碱性化合物、非离子性表面活性剂和溶剂，所述非离子性表面活性剂为具有结构式的聚氧乙烯苯基醚，式中R₁、R₂、R₃、R₄、R₅分别独立地选自氢、烷基、芳基、芳烷基、卤素；R₆选自氢、乙酰基、烷基、芳基；n为6－23的整数；其中，所述非离子表面活性剂包括至少一种n为15－23的聚氧乙烯苯基醚和至少一种n为6－14的聚氧乙烯苯基醚。本发明的显影液无需加入消泡剂即可获得非常好的显影性、消泡性、分散稳定性和操作温度，并且图像无残渣。

主权项

1、一种光阻显影液，该显影液含有碱性化合物、非离子性表面活性剂和溶剂，所述非离子性表面活性剂为具有下述结构式(I)的聚氧乙烯苯基醚，式(I)中R₁、R₂、R₃、R₄、R₅分别独立地选自氢、烷基、芳基、芳烷基、卤素；R₆选自氢、乙酰基、烷基、芳基；n为6-23的整数；其特征在于，所述非离子表面活性剂包括至少一种n为15-23的聚氧乙烯苯基醚和至少一种n为6-14的聚氧乙烯苯基醚。