[发明专利]液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备有效

专利信息
申请号: 200510099255.9 申请日: 2005-09-07
公开(公告)号: CN1762707A 公开(公告)日: 2006-04-26
发明(设计)人: 小岛健嗣 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B41J2/135 分类号: B41J2/135;B41J2/165;B41J2/07;B41J29/38
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李香兰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种液滴喷出装置(1),其一边使搭载着功能液滴喷头(82)的喷头单元(13)沿主扫描方向相对移动,一边驱动功能液滴喷头(82)向放置在放置台(21)上的工件(W)喷射,在工件(W)上进行描绘,并具有用于检测功能液滴喷头(82)的喷出故障的喷出故障检测单元(17),喷出故障检测单元(17)带有通过从功能液滴喷头(82)中检测喷出来描绘给定的检测图案的被描绘单元(161),和拍摄描绘的检测图案并进行图像识别、判断喷出故障的喷出故障判断机构(162),被描绘单元(161)设置在从放置台(21)脱离主扫描方向的主扫描移动轴上。由此可有效地检测漏点,可削减检测漏点的周期时间。
搜索关键词: 喷出 装置 光学 制造 方法 电子设备
【主权项】:
1、一种液滴喷出装置,一边使搭载着功能液滴喷头的喷头单元沿扫描方向相对移动,一边驱动前述功能液滴喷头喷射,从前述喷嘴向放置在放置台上的工件喷出功能液滴,在面对前述喷头单元的前述工件上进行描绘,其中上述功能液滴喷头上形成有多个喷嘴,其特征在于,该液滴喷出装置具有用于检测前述功能液滴喷头的喷出故障的喷出故障检测单元,前述喷出故障检测单元带有:通过从前述功能液滴喷头的所有喷嘴中检测喷出来描绘给定的检测图案的被描绘单元;以及拍摄描绘在前述被描绘单元上的前述检测图案,并进行图像识别,判断前述功能液滴喷头是否存在喷出故障的喷出故障判断机构,前述被描绘单元设置在从前述放置台脱离前述扫描方向的扫描移动轴上。
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