[发明专利]含有有机聚硅石材料的组合物及其生产方法无效
| 申请号： | 200510099564.6 | 申请日： | 2005-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN1775861A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | G·P·普罗科波维奇;M·K·格拉戈尔 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C08L83/00 | 分类号： | C08L83/00;C08J5/18;C08K5/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 范征 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了用于制备多孔有机聚硅石薄膜，尤其是用于制造集成电路的组合物。还提供形成这些组合物和薄膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 有机 硅石 材料 组合 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
1.一种组合物，它包括B-段有机聚硅石材料和成孔剂，其特征在于，所述成孔剂包括含芳基的有机基团保护的多羟基部分。
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