[发明专利]离子枪有效
| 申请号： | 200510100604.4 | 申请日： | 2005-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1956119A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 潜力;齐京;唐洁;刘亮;胡昭复;陈丕瑾;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01J3/04 | 分类号： | H01J3/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子枪，其包括一真空容器、一阳极和一阴极装置，真空容器上设置有电子注入孔、离子出射孔及气体入口，该阳极位于真空容器内部，该阴极装置位于电子注入孔处，所述阴极装置为场发射冷阴极装置。该离子枪具有发射电子稳定、结构简单的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 | ||
【主权项】：
1.一种离子枪，其包括一真空容器、一阳极和一阴极装置，该真空容器上设置有电子注入孔、离子出射孔及气体入口，该阳极位于真空容器内部，该阴极装置位于电子注入孔处，其特征在于：所述阴极装置为场发射冷阴极装置。
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