[发明专利]类钻碳膜有效
| 申请号： | 200510100975.2 | 申请日： | 2005-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN1958835A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种类钻碳膜，其由n层结构构成，n值为6～30，每一层的成分为含元素碳、氢及X的类钻碳，X为铬、或钛、或铬钛合金、或氮化铬，该类钻碳膜第m层的成分：a－C:H:(n－m+1)X，m值为1～n，由靠近基材的第一层至第n层，各层中X成分原子百分比含量逐渐减少。该类钻碳膜可作为保护膜，应用于模具、刀具或磁性存储介质等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 类钻碳膜 | ||
【主权项】：
1.一种类钻碳膜，其由n层结构构成，n值为6～30，每一层的成分为含元素碳、氢X的类钻碳，X为铬、或钛、或铬钛合金、或氮化铬，该类钻碳膜的第m层的成分：a-C:H:(n-m+1)X，m值为1～n，由第一层至第n层，各层中X成分的原子百分比含量逐渐减少。
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